Công cụ sản xuất chip tiên tiến nhất sắp ra mắt, Trung Quốc vượt bước về tự chủ ngành chip

Trung Quốc ngày càng ngạc nhiên các quốc gia khác với khả năng sản xuất chip độc lập. Dù không tiếp cận các máy quang khắc cao cấp, Huawei và SMIC được cho là đã thành công trong việc thiết kế và sản xuất chip 7nm. Thông tin mới nhất cho thấy Trung Quốc sắp ra mắt máy quét quang học do chính họ sản xuất.

Theo một nguồn tin không tiết lộ tên, công ty Trung Quốc là SMEE đã thành công trong việc sản xuất máy quét quang học chip 28nm và dự kiến đưa ra thị trường vào cuối năm nay.

Một thiết bị quang khắc đến từ hãng SMEE

Các hệ thống quét quang học được coi như trái tim của các thiết bị quang khắc bán dẫn, vì những chùm sáng mà chúng tạo ra sẽ đi qua các mặt nạ chứa bản mẫu để tạo ra các đường khắc trên tấm bán dẫn. Nếu ánh sáng từ những thiết bị này không đáp ứng tiêu chuẩn, sẽ không thể tạo ra những đường khắc chính xác trên tấm bán dẫn và con chip sẽ không đạt chất lượng.

Đó là lý do tại sao các công ty lớn trên thế giới đang tranh thủ phát triển các thiết bị quét quang học tiên tiến hơn. Mục tiêu của chúng là tạo ra các tia sáng một màu có bước sóng ngày càng nhỏ hơn, từ đó có thể khắc chìm các đường đồng cấu nhỏ hơn lên bề mặt của tấm bán dẫn. SMEE đã phát triển thành công các máy quét quang học để tạo ra chip với độ chính xác 28nm, và rất có thể chúng sẽ được sử dụng trong các máy khắc quang sử dụng công nghệ tia DUV. Trên thực tế, hãng ASML đã phát triển các máy khắc quang sử dụng tia EUV với bước sóng là 13,5nm, gấp 14 lần nhỏ hơn so với tia DUV.

Các máy quét quang học được coi là trái tim của máy khắc chip.

Dù tiến trình 28nm vẫn chưa ngang hàng với công nghệ chip tiên tiến nhất thế giới hiện nay, SMEE đã đạt được một bước tiến lớn với máy quét quang học SSA/800-100W. Trước đây, công ty chỉ có thể tạo ra chip 90nm hoặc lớn hơn. Khả năng sản xuất chip 28nm giúp Trung Quốc đạt được sự tự chủ trong việc sản xuất hàng loạt sản phẩm bán dẫn cho các công nghệ phổ biến.

Điều này cũng là một phần của mục tiêu lớn hơn của Trung Quốc để tự mình sản xuất bán dẫn và giảm phụ thuộc vào công nghệ từ nước ngoài. Tuy nhiên, một câu hỏi vẫn đặt ra là liệu SMEE có thể sản xuất hàng loạt máy quét quang khắc này và có thể thay thế các sản phẩm từ các thương hiệu hàng đầu thế giới như ASML, Canon và Nikon trong tương lai hay không.

Các quy định mới nhất về hạn chế xuất khẩu từ chính phủ Mỹ đã ngăn chặn khả năng của các nhà sản xuất chip Trung Quốc trong việc tiếp cận công cụ và công nghệ cần thiết để sản xuất các chip logic bán dẫn cao cấp với tiến trình 14nm/16nm hoặc thấp hơn, chip nhớ 3D NAND với hơn 127 lớp, và mạch tích hợp DRAM với tiến trình nhỏ hơn 18nm.

Cỗ máy này sẽ đóng góp cho việc Trung Quốc tiến thêm một bước trong quá trình tự chủ ngành chip.

Các quy định mới có hiệu lực từ mùa thu năm nay buộc các công ty Hà Lan, Nhật Bản và Đài Loan (Trung Quốc) giới hạn việc cung cấp máy móc, trang thiết bị và hóa chất sản xuất chip cao cấp cho các công ty Trung Quốc như SMIC và YMTC. Những hạn chế này cũng ngăn chặn các công ty Trung Quốc trong việc sản xuất chip bằng các tiến trình cao cấp như 14nm/12nm hoặc 7nm thế hệ 2 của SMIC, cũng như chip nhớ NAND 128 lớp và 232 lớp của YMTC.

Do đó, Trung Quốc ngày càng cần phải sở hữu các máy quang khắc nội địa để đảm bảo rằng các nhà sản xuất chip của họ có thể sản xuất được các con chip với công nghệ tiên tiến như 14nm. Hiện tại, có nhiều khả năng hãng SMEE đang chuẩn bị sản xuất máy quét quang học SSA/800-10W cho SMIC hoặc các tổ chức nghiên cứu về chip trong nước.

Ngay cả khi có được máy quét quang học này, vẫn cần một khoảng thời gian để các nhà sản xuất chip tích hợp máy quét này vào dây chuyền sản xuất. Tuy nhiên, điều này chỉ có thể xảy ra nếu SMEE có đủ khả năng sản xuất đủ số lượng máy quét này.